威斯康星大学获得电子束光刻系统,纳米技术研究

A micrograph shows patterned metal electrodes
此显微照片示出了通过绝缘层(透明这个图像中),其被用来控制半导体量子器件的电子的数量分开的图案化的金属电极。其是可以用电子束光刻系统被蚀刻纳米结构的类型的一个例子。照片:特雷弗·纳普

研究项目全州,从电子产品到光学和医学,被设置为从来到威斯康星大学麦迪逊分校将使用电子束光刻(EBL),用于创建极其细微图案的专门技术的新系统中受益 - 在某些情况下超过5000次比人类头发的直径窄。

电子束光刻系统,在纳米尺度构建设备所需的关键手段,将给予华盛顿大学研究人员和其他与各种可能的商业应用上的纳米级项目工作的能力。

在EBL系统,价值约110万$,预计将是一个强有力的除了协作环境的物理,化学,生物,电气工程,材料和信息技术,医学研究领域内的研究人员,其中纳​​米技术发挥了重要作用。 马克埃里克森,授予对项目和威斯康星大学物理教授铅,说,该系统可在区域范围从显影催化剂材料到原型计算机芯片中使用,创建量子器件和水的质量监测以及从纳米结构的光学metasurfaces积极缩放碳纳米管场效应晶体管。

所述EBL技术包括跨越覆盖有被称为“抗蚀剂”,它可以被开发为不创建模板不同于模版电子敏感膜的表面扫描电子束的。该图案可随后进入衬底,无论是由通过沉积添加材料或通过蚀刻移除材料被转移。电子束光刻工具可以绘制设备下降到在表面上的多达六个英寸宽大约10纳米的分辨率。一个纳米是测量等于十亿分之一米的单位。

“目前,在威斯康星电子束光刻是使用扫描电子显微镜与转换系统,以使电子束写入执行,”埃里克森解释。 “这种转换的系统有很大的局限性,而新的EBL工具将允许研究了大量,这是简单地与过去的系统无法访问。”

The addition of the EBL system is made possible by a $799,996 National Science Foundation Major Research Instrumentation grant. UW–Madison is contributing funds to cover the rest of the instrument purchase, leveraging support from the Wisconsin Alumni Research Foundation, the College of Letters & Science and the College of Engineering. WARF support, totaling $391,000, is provided via the Office of the Vice Chancellor for 研究 and 毕业 Education. The campus is also covering additional costs for renovations and maintenance of the system.

该系统将成为一部分 威斯康星中心施加的微电子 (wcam),核研究设施的工程学院管理。 wcam为研究人员提供访问各种国家的最先进的纳米加工工具。去年,该工厂有来自42个研究群体覆盖威斯康星大学麦迪逊分校内的六个学院和19个部门170级的用户。 wcam资源已经利用赞助的研究$ 6500万的日期。

该系统的能力,也将是在物理和电气和计算机工程教授部门现有的本科和研究生课程的新模块的基础。

“EBL的工具将是一个招聘工具 研究生工程研究学者,一个独特的方案,寻求出在威斯康星大学麦迪逊分校的本科生和研究生研究职位少数族裔,”史蒂夫·阿克曼,副校长,物理科学说。 “我们也将与威斯康星大学麦迪逊分校内的跨学科教育集团的合作伙伴 材料研究科学与工程中心 利用新系统的推广和教育活动,包括制定在当地高中的教室参观一个纳米加工模块和创建针对高中在线视频资源和社会公众解释纳米加工技术及其应用到现实世界的挑战。 ”

“从NSF这个奖项证实了在威斯康星大学麦迪逊分校,皇冠体育作为一个整体的教育和研究,以及威斯康星州的整个状态,”埃里克森说,强调这样的用户设施全州的影响。 “在这个奖项的联合首席调查员包括来自威斯康星大学麦迪逊分校4名教师和一名来自威斯康星大学密尔沃基,并通过教师威斯康星大学普拉特维尔规划用途,威斯康星大学史蒂文斯点和马凯特大学是该项目移到完成的关键。”

“EBL的工具增加了一个功能强大的新资源,威斯康星大学麦迪逊分校的研究核心工具箱,我们从美国国家科学基金会获得这种支持祝贺教授埃里克森,”玛莎mailick,威斯康星大学麦迪逊分校副校长为研究和研究生教育说。 “电子束光刻工具对我们校园的研究及以后的影响将是变革。”

娜塔莎kassulke,大学通信